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      濟南魯熱儀器有限公司歡迎您！
    
    
    
    
      
    
       
    
           
         
       
     
      
    
    
    
    
    
  
    

    



    
  
    
    
    
    
      
    
    
    
    
    
  
    

    



    
  
     
      
    
        


    

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    HGSK2-10-12DZ-PECVD單溫區滑桿式PECVD系統
    
  

      

      
  單溫區滑桿式PECVD系統 查看詳細介紹
    
      單溫區滑桿式PECVD系統由滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。單溫區滑竿式PECVD系統相對于CVD系統增加了等離子發生器
      
    
      更新時間：2022-12-05
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